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      新聞資訊

      NEWS

      高純氬氣純化設備相關介紹

      2021-12-15 18:29

        一、高純氬氣的簡介

        氬作為制造單晶和多晶硅的保護氣體,如何選擇高純氬氣來提高硅晶體的質量,是制造硅晶體的問題。通過該高純氬氣裝置的使用,在氬的純度中氧氣含量低于1ppm,水分也低于1ppm時,制造出來的單晶硅的氧碳含量低于0.5ppm,可以提高單晶的使用壽命,滿足要求,從而獲得客戶滿意和市場需求。

        因為一般的液體氬在汽化后沒有提純,所以它的氧氣含量一般為2ppm~5ppm。煤氣供應商提供的钚有時超出這個范圍,使用钚的客戶不知道其質量,因此經常影響產品的質量。使用氬精煉裝置后,不管氬原料氣體的質量如何,處理精制裝置后進入拉結晶爐的氬,純度總是恒定的。

        一般氧氣含量低于0.5ppm,水分低于1ppm,因此穩定的氬保證了晶體生產的質量。

        二、高純氬氣的精制方法

        第一個:直接脫產法。使用活性金屬與氬中的氧氣反應,消化氬中的氧氣,以達到脫氧目的,通過分子篩吸收氬中的水分,使氬含量低于1ppm。


      高純氬氣


        第二種:是使用吸入劑。在一定溫度下,吸入劑吸收氮、氫、氧、一 氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體進行處理后,氬的純度可以達到6個、9個,這種保護氣體更適合制造高純度半導體的單晶硅。

        吸氣劑精制后使用氬純度:

        第一種方法是設備投資少,設備中脫氧劑的壽命一般大于4年。

        第二種方法是設備的純化純度高,但投資比較大,吸入劑的壽命為2年。

        本公司還可以根據客戶的要求直接高壓,這樣就不必使用成型機增壓工藝了。

        另外,根據客戶要求,分析儀在線時可以檢測設備的氣體純度。

        三、高純氬氣的應用

        高純氬用于焊接、不銹鋼制造和冶煉,半導體制造過程中化學氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬用作生產單晶硅和多晶硅的保護氣體。

        主要用途:新老用戶為本公司產品:氬凈化器、氬凈化器、高純氬凈化設備、YAC系列氬凈化設備、全自動氬凈化設備、大型氬凈化設備、硅材料產業氬凈化設備、硅材料氣站。

      服務熱線:0532-66917876 / 13583208039

      青島城陽長松氣體有限公司

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